レーザー顕微鏡を用いたヘテロ接合の内部クラック観察
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概要
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We propose a non-destructive test method that used a laser microscope, for developing the inside evaluation method of a semiconductor crystal with multilayer structure. In this paper, it is reported that we were able to observe the crack that introduced to a tandem solar cell, easily by OBIC image mode. By selecting the scanning laser wavelength, we succeeded in doing the depth control of the optical induced current and then getting the inside structure of the multilayer crystal as OBIC image.
- 岐阜工業高等専門学校の論文
- 1999-03-01
著者
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