162.反応性イオンビームスパッタ法によるAIN薄膜の作成とその光学的特性((8)光関連デバイス・ディスプレイ)
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概要
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- 社団法人照明学会の論文
- 1996-08-31
著者
-
中川 靖夫
埼玉大学
-
中川 靖夫
埼玉大理工
-
大谷 文雄
埼玉大学大学院理工学研究科
-
中川 靖夫
埼玉大学 工学部
-
大谷 文雄
埼玉大学 工学部
-
谷治 環
埼玉大学 工学部
-
谷治 環
埼玉大学大学院理工学研究科
-
土屋 竜二
埼玉大学 工学部
-
細田 隆広
埼玉大学 工学部
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