402 マイクロアクチュエータ用PZT圧電薄膜創製技術の開発(GS-16 精密計測・精密加工)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2004-03-17

著者

• 仲町 英治

  阪工大

• 槌谷 和義

  阪工大

• 北川 俊明

  大阪工業大学大学院工学研究科

• 北川 俊明

  阪工大院

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