北川 俊明 | 大阪工業大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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北川 俊明
大阪工業大学大学院工学研究科
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仲町 英治
阪工大
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仲町 英治
大阪工業大学工学部
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奥田 雄二
大阪工業大学大学院工学研究科.
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槌谷 和義
阪工大
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槌谷 和義
大阪工業大学バイオベンチャーセンター
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北川 俊明
阪工大院
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奥田 雄二
阪工大院
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上辻 靖智
大阪工業大学
著作論文
- マイクロアクチュエータ用PZT薄膜創製技術の開発
- 229 Bio-MEMS 用 PZT 薄膜創成技術の開発
- RFマグネトロンスパッタリングによるマイクロアクチュエータ用PZT薄膜創製技術の開発
- 402 マイクロアクチュエータ用PZT圧電薄膜創製技術の開発(GS-16 精密計測・精密加工)