414 ナノ鏡面生成のための極低圧超仕上げ加工機の開発(OS15 研磨技術)
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概要
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This research aimed to develop the super-low pressure controller which was able to give the work piece the stable super-low pressure to obtain the machined surface quality equal with the separation abrasive processing. Super-finishing process can make good finished surfaces in short time. In addition, super-finishing is widely used in the last finishing of slide planes of precision parts such as bearings. We processed super-finishing with this device to confirm the ability. As a result, the machined surface was improved when pressure decreased. Moreover, when stone pressure was 0.2MPa, the roughness of finished surface was 12.5nm, which the working accuracy was the highest.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-19
著者
-
廣垣 俊樹
同志社大学理工学部
-
青山 栄一
同志社大学理工学部
-
恩地 好晶
株ミズホ
-
青山 栄一
同志社大
-
奥 健太郎
同志社大
-
小川 圭二
同志社大
-
奥地 好晶
ミズホ
-
小川 圭二
同志社大学
-
廣垣 俊樹
同志社大
-
Ogawa Keiji
School Of Engineering The University Of Shiga Prefecture
-
OGAWA Keiji
Department of Mechanical System Engineering, The University of Shiga Prefecture
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