超精密回転機構を用いた半導体連続露光技術に関する研究 : 円板の同期制御系の構築(機械加工I)

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2004-08-30

著者

• 里見 忠篤

  東京電機大

• 里見 忠篤

  東電大理工

• 田中 広朗

  東電大理工・院

• 引地 紀敬

  東電大理工

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