圧電薄膜を利用する浮上量制御型アクティブスライダに関する研究(情報機器コンピュータメカニクス2 -機構・制御,IIP2004 情報・知能・精密機器部門講演会)
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概要
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This paper describes a novel active head slider equipped with micro-actuator using PZT thin films for flying height control. The active head slider is a breakthrough technology for achieving ultra-low spacing of less than 10nm. The position of a read/write magnetic head is gone above and below because an unimorph cantilever build in the slider bends by PZT thin film, and flying height is controlled. The multi-step silicone etching process by ICP-RIE or RIE is important to fabricate active head sliders. Therefore, the fabrication process of a silicone slider structure was completed by optimizing etching conditions.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-03-22
著者
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