3217 圧電薄膜を利用した光ディスク用マイクロミラーアクチュエータ機構の開発
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概要
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Recently, several approaches for high-density data storage are widely investigated based on MEMS technologies. However, it is very difficult to control the position of the pick up probe well at the accuracy of less than the track pitch of the high-density data storage. On the other hand, novel composite multi-layered PZT films are developed in our research laboratory. The PZT films show both good electrical and mechanical characteristics for the actuators. Therefore the development of the new mechanism of micro-actuator systems for optical disk drives is the purpose of this research.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-08-05
著者
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