6-1 ICのアルミ配線腐食を劣化指標とする診断法(日本信頼性学会第9回信頼性シンポジウム)

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概要

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• Corrosion of Al-pattern on IC appears earlier than abnormarities in its input-and-output characteristics. Therefore, it is reasonable to check the corrosion in order to catch the tendency of degradation of electronic equipments as early as possible. Then we did a fundamental study to adopt the amount of the corrosion as a diagnotic parameter. As the result, we found the time-dependence of corrosion and a relationship between corrosion and failure. These characteristics can be applied to degradation diagnosis.

• 日本信頼性学会の論文
• 1996-11-10

著者

• 佐々木 恵一

  株式会社東芝 重電技術研究所

• 南 裕二

  株式会社東芝 重電技術研究所 エレクトロニクス技術開発部 信頼性技術グループ

• 安達 健二

  株式会社東芝 重電技術研究所 エレクトロニクス技術開発部 信頼性技術グループ

• 熊丸 智雄

  株式会社東芝 重電技術研究所 エレクトロニクス技術開発部 信頼性技術グループ

• 安達 健二

  東芝電力システム社

• 安達 健二

  株式会社東芝

• 南 裕二

  (株)東芝

• 熊丸 智雄

  (株)東芝

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