LSIの故障メカニズムに基づいた信頼性試験方法
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概要
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半導体デバイスの保証をする場合にはどのような手段を用いるべきであろうか.一番の正攻法は実使用最悪条件にて耐用年限まで動作させて故障しないことを確認することである.しかしそれでは電子デバイスメーカーは世の中の動きから遅れてしまい,なんら世の中に新製品を送り出すことができなくなってしまう.故障現象もミクロな目で見れば物理化学反応である.デバイスメーカー各社は半導体デバイスの保証のためデバイスの実使用時にどのような物理化学反応が起きるのかを見極め,その故障メカニズムを探求し,その故障の発生を押さえ込んでいる.メカニズムをつかみその故障モードに適した信頼性試験を行えば磨耗故障と呼ばれる故障モードは少量短時間でデバイスの保証を行うことが可能になる.なお日本では(社)電子情報技術産業協 JEITA(Japan Electronics and Information Technology Industries Association)にてデバイスメーカー各社の信頼性評価試験の標準化をおこなっている.その活動も紹介する.
- 日本信頼性学会の論文
- 2002-01-25
著者
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