Comprehensive Analysis of an Isolation Area Obtained by Local Oxidation of Silicon Without Field Implant
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1999-09-15
著者
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Sarrabayrouse G
Lab. Analyse Et D'architecture Des Systemes Upr Cnrs 8001 Toulouse Fra
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Despax Bernard
Laboratoire De Genie Electrique De Toulouse
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Despax Bernard
Laboratoire De Genie Electrique
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BELUCH Jean
Motorola Semiconducteurs S.A., Avenue du General Eisenhower
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SARRABAYROUSE Gerard
Laboratorie d'Analyse et d'Architecture des Systemes
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Fay Jean-Luc
Motorola Semiconducteurs S.A. Avente du General Eisenhower
-
Allirand Laurence
Motorola Semiconducteurs S.A. Avente du General Eisenhowe
-
Brosset Dominique
Motorola Semiconducteurs S.A. Avente du General Eisenhowe
-
Bafleur Marise
Lanboratoire d'Analyse et d'Architecture des Sytemes
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Fay Jean-luc
Motorola Semiconducteurs S.a. Avenue Du General Eisenhower
-
Sarrabayrouse Gerard
Laboratoire D'analyse Et D'architecture Des Sytemes
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Beluch Jean
Motorola Semiconducteurs S.a. Avente Du General Eisenhowe
-
Bafleur Marise
Lanboratoire D'analyse Et D'architecture Des Sytemes
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