3.直流熟プラズマとその材料プロセスへの応用(<講座>熱プラズマの物理・化学過程とその応用III)
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概要
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Thermal plasma jet operated under reduced pressure has a great potential for synthesizing new materials, because of its high speed, high gas temperature and large plasma volume. Therefore, we have newly designed the plasma reactor composed of the forced constricted type plasma jet generator and the feed ring. In order to clarify the application feasibility of this plasma jet reactor to fine plasma processing for materials, the behavior of a typical plasma jet will be discussed, including the effects of pressure on the jet, the problems of measuring temperature and velocity fields, syntheses of diamonds and thermo-electric materials, and spray coatings.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1996-03-25
著者
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