水素放電による負イオン生成に関する数値計算 (I) : H<SUP>-</SUP>生成機構
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概要
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In order to study the mechanism of H<SUP>-</SUP> production caused by hydrogen discharges and the dependence of H<SUP>-</SUP> production on plasma parameters, a comprehensive model is presented. The model considers important processes for the production of both H<SUP>-</SUP> and positive ions. A set of particle balance equations in a steady state hydrogen plasma is solved numerically. The calculated results have confirmed that H<SUP>-</SUP> ions are generated by dissociative attachment to highly vibrationally excited hydrogen molecules (vibrational level v ″= 5-10) and these molecules are produced by electrons with energies in excess of 30 eV.
- 社団法人 プラズマ・核融合学会の論文
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