4.エヴァネッセント光を用いた表面近傍のプラズマ診断とマイクロプラズマへの応用(<小特集>マイクロプラズマ : 基礎から応用まで)
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概要
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An evanescent laser spectroscopy is reviewed as a new method making possible the measurement of dynamic behaviors of excited species on the dielectric surface in plasmas, or the estimation of a wall voltage due to charged particles. The metastable excited atoms on the wall in dc discharge are measrued by the method discribed and the reflectance of these atoms on the wall is discussed. This method is also applied to a barrier discharge which is a common exciting mechanism for micro-discharges.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2000-05-25
著者
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