Sc系含浸形カソードの研究
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概要
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An impregnated cathode with a W coated-film containing Sc is capable of high current density operation at low temperature. Cathode fabrication has been investigated. The coated-film is prepared by RF co-sputtering using three independent targets consisting of W, WO_3 and Sc_2O_3. An optimum Sc/W weight ratio in the coated-film is from 0.029 to 0.036. A W cathode pellet with 28% porositey and impregnation at 1900℃ are desirable to realize good emission characterisics.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1991-11-27
著者
-
佐々木 進
(株)日立製作所電子デバイス事業部
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田口 貞憲
(株)日立製作所電子デバイス事業部
-
鈴木 行男
(株)日立製作所電子デバイス事業部
-
斉藤 駿次
日立
-
斉藤 駿次
(株)日立製作所茂原工場
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斎藤 駿次
(株)日立製作所電子デバイス事業部
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