Sc系含浸型カソードの開発
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概要
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W-Sc-O)薄膜を被覆したSc系含浸型カソードの製作条件の適正化と電子放出特性について検討した.電子放出特性は被覆膜組成, 下地カソードの空孔率および電子放出物質の含浸条件に依存した.実用評価試験で900℃b動作と長寿命を確認できた.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1992-07-20
著者
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佐々木 進
(株)日立製作所電子デバイス事業部
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田口 貞憲
(株)日立製作所電子デバイス事業部
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鈴木 行男
(株)日立製作所電子デバイス事業部
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田口 貞憲
株式会社日立製作所茂原工場
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鈴木 行男
株式会社日立製作所茂原工場
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斎藤 駿次
株式会社日立製作所茂原工場
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佐々木 進
株式会社日立製作所中央研究所
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斉藤 駿次
日立
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斎藤 駿次
(株)日立製作所電子デバイス事業部
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佐々木 進
株式会社日立製作所
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