1/3インチ36万画素IT-CCI撮像素子(論文<小特集>固体撮像技術)

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概要

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• 小型ビデオムービー用CCD撮像素子に求められる小型化, 多画素化と高感度化の相反する課題を解決するために, マイクロレンズ形状を主とするオンチップフィルタ構造およびCCD撮像素子の受光部形状を検討した.特に, レンズ絞り開放時の斜め入射光成分が感度に及ぼす影響を解析し, 新構造マイクロレンズの導入により低照度被写体撮像時の高感度化を図った.合わせて, マイクロレンズ集光シミュレーションにより, CCD撮像素子のフォトダイオード部の効果的な遮光部形状を検討し, 最低被写体照度3ルックス(F1.4), スミア0.002%(1/10V)の1/3インチ36万画素インタラインCCD(682H×492V)を実現した.

• 社団法人映像情報メディア学会の論文
• 1993-02-20

著者

• 溝内 千尋

  松下電子工業株式会社メモリー事業部

• 栗山 俊寛

  松下電子工業(株)半導体社ccd事業部 開発部

• 山口 琢己

  松下電子工業(株)半導体社ccd事業部 開発部

• 松本 茂則

  松下電子工業株式会社半導体研究所

• 広島 義光

  松下電子工業(株) 半導体研究所

• 今西 勉

  松下電子工業(株)メモリ(事)

• 広島 義光

  松下電子工業

• 今西 勉

  松下電子工業株式会社ピクチャーコンポーネント事業部

• 児玉 宏達

  松下電子工業株式会社ピクチャーコンポーネント事業部

• 青木 裕光

  松下電子工業(株)半導体社ccd事業部 開発部

• 松本 茂則

  松下電子工業株式会社メモリー事業部

• 北濱 靖

  松下電子工業(株)メモリー(事)

• 北浜 靖

  松下電子工業(株)メモリー(事)CCD設計技術部

• 高木 貢

  松下電子工業株式会社メモリー事業部

• 佐野 義和

  松下工業株式会社京都研究所

• 青木 裕光

  松下工業株式会社京都研究所

• 下村 幸司

  松下工業株式会社京都研究所

• 山口 琢已

  松下電子工業(株) メモリー(事)

• 佐野 義和

  松下電子工業株式会社半導体事業本部京都研究所

• 広島 義光

  松下電子研究所

• 山口 琢巳

  松下電子工業

• 高木 貢

  松下電子工業(株)ピクチャーコンポーネント(事)

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