小形CCD固体撮像素子の検討
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概要
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CCD固体撮像素子について, 2/3インチサイズ素子の設計・プロセス技術で, より小形の1/2インチサイズ素子, および8mmサイズ素子を製作した場合の予想特性を求めた.予想特性を求める方法として, 水平方向について, 光電変換部, 信号転送部等, 1/2インチサイズの素子寸法と同じに作った2/3インチサイズ素子を用いた.その結果, 現用のプロセス技術で実用に耐え得る特性の1/2インチサイズ素子, 8mmサイズ素子が得られることがわかった.その特性を確認するため, 8mmサイズ素子を設計・試作した.素子構成はIT-CCDの特性が確認でき, スミアレベルが小さいFIT-CCD構成を用いた.スミアレベルは従来の固体撮像素子に比べ大幅に低減ができた.また, 解像度等の特性については, 検討用の2/3インチサイズ素子で得た予想特性とほぼ同じ特性が確認できた.
- 1983-10-20
著者
-
黒田 隆男
松下電子工業(株)京都研究所
-
栗山 俊寛
松下電子工業(株)半導体社ccd事業部 開発部
-
堀居 賢樹
松下電子工業株式会社撮像管事業部
-
松本 茂則
松下電子工業株式会社半導体研究所
-
広島 義光
松下電子工業(株) 半導体研究所
-
広島 義光
松下電子工業
-
国井 孝雄
松下電子工業(株)半導体研究所
-
松本 茂則
松下電子工業株式会社メモリー事業部
-
堀居 賢樹
松下電子工業
-
黒田 隆男
松下電子工業
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