2枚マスクa-Si TFTによるフルカラーLCD
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概要
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LCD用TFTアレーとして、大幅に工程を簡略化した2枚マスク構成の逆スタガ型a-Si TFTアレーを開発した。裏面露光による半導体層のパターニング工程、高精度のエッチング制御、n-a-SiとITOのオーミック接合及び素子分離等を検討することにより、TFT特性として、0N/0FF比≧10^6、閾値電圧V_<th>=2〜3V、電界効果移動度μ〜O.5cm^2/V・secが得られた。また、この2枚マスクa-Si TFTアレーを用いたTFT-LCDを開発した。液晶セルの信号保持能力向上のため、配向膜組成の最適化等を行なうことにより、TFT-LCDとしてコントラスト比100:1以上等、従来の多数のマスクを用いて作成したTFT-LCDと同等の画像特性が得られた。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1989-06-15
著者
-
川村 哲也
松下電器産業株式会社液晶事業部
-
川村 哲也
松下電器産業(株)中央研究所
-
川村 哲也
阪大基礎工
-
宮田 豊
松下電器産業(株)液晶開発センター
-
近村 隆夫
松下電器産業(株)中央研究所
-
筒 博司
松下電器産業(株)中央研究所
-
宮田 豊
松下電気産業(株)中央研究所
-
宮田 豊
松下電器産業
-
近村 隆夫
松下電器中央研究所
-
川村 哲也
大阪大学基礎工学部物性分野
-
近村 隆夫
松下電器産業 中央研究所
-
筒 博司
松下電器産業
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