抵抗付DCPDPへのフォトリソの応用 : 情報ディスプレイ
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概要
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DC型PDPの最大の欠点であった寿命の問題は,He-Xe系ではガス圧を350Torr程度に上げ,各セルに1MΩ程度の抵抗をつけることによって解決できることを既に示した。この抵抗付パネルでは,抵抗の微細化とバラツキが問題となる。その一つの解決法として,厚膜フォトリソの利用を考えた。今回は,セルピッチ0.7mm,対角20cmパネルの抵抗のターミネイターをAuの厚膜印刷一焼成一フォトリソの工程で形成した。抵抗は新たに入手したRuO_2を印刷して用いた。抵抗の自動測定器を試作し,各種データ処理を行ない,バラツキの要因を分析した。その結果,O.6mmピッチまで対応でき,バラツキの標準偏差は3%程度までできることがわかった。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1994-03-18
著者
-
高橋 一夫
松下電器産業
-
坂井 徹男
NHK放送技術研究所
-
高橋 一夫
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
坂井 徹男
(有)ディスプレイ研究所
-
後沢 端芳
NHK放送技術研究所材料・デバイス
-
和邇 浩一
松下電子
-
和邇 浩一
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
和邇 浩一
松下電子工業(株)
-
後沢 端芳
Nhk放送技術研究所
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