H_2Sを用いたMSD法により作製した蛍光膜を使用したSrS:CeCl_3青色発光EL素子の作製 : 発光型ディスプレイ関連 : 情報ディスプレイ
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概要
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硫黄を蒸着源とするMSD法で生じた問題点を解決するためにH_2Sガスを用いたMSD法を提案した。この方法により作製したSrS:CeCl_3蛍光膜の結晶性ならびに組成分析を行なった。SrS:CeCl_3蛍光膜は(200)配向を示し、Sr:S=1:1と化学量論性な膜が得られた。この方法により作製した蛍光膜をEL素子に適用し素子特性についても検討を行った。さらに絶縁膜の特性がEL素子特性に及ぼす影響についても検討を行った。第一絶縁膜にSiAlON膜を使用した素子は高い輝度を示し、この原因は優れた耐熱性にあることを明かとした。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1993-01-22
著者
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