CoPt薄膜媒体の微細構造が磁気特性及びノイズ特性に与える影響 : 記録媒体・磁気ヘッド : 画像情報記録

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概要

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スパッタAr圧が異なる条件で作製した下地膜なしのCoPt膜は、微細構造に違いがみられた。高Ar圧で作製した膜には、結晶粒内に酸素が偏析した非晶質相が存在した。一方、低Ar圧では、結晶粒内にPt濃度の変調はあるものの、非晶質相はなかった。基板温度を変えた場合、低Ar圧で作製した膜では、他の要因が保磁力に影響を与えていると思われた。高Ar圧、低Ar圧で作製した媒体とともに、DCノイズは、結晶粒径の微細化とともに減少した。しかし、記録密度の増加に伴うノイズの増大は、高Ar圧で作製した膜では減少したのに対し、低Ar圧で作製した膜では減少しなかった。
社団法人映像情報メディア学会の論文
1993-02-25

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