磁気力顕微鏡による高周波ヘッド磁界測定の高分解能化

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概要

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• AC-phase方式HF-MFMを考案し、以前に考案されたAC-deflection方式よりも高分解能な方式であることを示した。具体的には、AC-deflection方式では分解できなかったヘッドギャップ位置での高周波磁界をAC-phase方式では分解できるようになった。また、ABS面に露出している磁極エッジ部分沿って高周波磁界のリークが観察された。350MHzまで安定に測定できることに成功した。AC-phase方式HF-MFM信号の周波数特性を測定し、ヘッドによる特性の違いを確認した。高周波では信号だけでなく、渦電流によるコントラストの違いがあることを示した。

• 社団法人映像情報メディア学会の論文
• 2001-06-07

著者

• 田中 陽一郎

  (株)東芝 光・磁気ストレージ開発センター

• 田中 陽一郎

  (株)東芝コアテクノロジーセンター

• 田中 陽一郎

  株式会社 東芝 光・磁気ストレージ開発センター

• 阿部 真之

  (株)東芝コアテクノロジーセンター

• 田中 陽一郎

  (株)東芝 ストレージデバイス事業部

• 阿部 真之

  (株)東芝光・磁気ストレージ開発センター

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