書き換え型HD DVD量産に適したSiOC低屈折率膜(光記録技術、一般)
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概要
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我々はHD DVDの書き換え型媒体が、現行DVD同等の量産性を有することを実証した。20GBの容量を持つHD DVDの単層タイプの書き換え型媒体には、クロスイレースを低減するために、SiO_2のような低屈折率膜が必要となる。低屈折率材料の成膜速度は他の膜に比べ非常に遅く、媒体の大量生産時にボトルネックとなる可能性が大きい。我々は高い成膜速度が実現可能である新しい低屈折率材料"SiOC"を開発した。SiOC膜はアルゴンと酸素の混合ガス中でスパッタリングによってSiCターゲットを使って形成される。結果として単位電力あたりの成膜速度はSiO_2ターゲットを使った場合の3倍程度高い値が得られた。さらに、SiOC膜を用いた20GBのHD DVD単層書き換え型媒体がSiO_2膜を用いた媒体と同様に、良好な記録特性を有することを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-10-14
著者
-
中居 司
(株)東芝研究開発センター
-
柚須 圭一郎
(株)東芝デジタルメディアネットワーク社コアテクノロジーセンター
-
芦田 純生
(株)東芝研究開発センター
-
中居 司
(株)東芝 研究開発センター
-
芦田 純生
(株)東芝研究開発センター記憶材料デバイスラボラトリー
-
佐藤 裕広
(株)東芝研究開発センター記憶材料デバイスラボラトリー
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