0.6mm厚基盤入射型20GB相変化光記録媒体AOD : 高密度化媒体膜技術
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概要
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青紫色f導体レーザー(波長〜405nm)に対応した次世代書き換え型光記録媒体として. 0.6mm厚基板面入射型(対物レンズNA=0.65)に対応する相変化光記録媒体を開発した.GeTeリッチ組成のGeTe-Sb2Te3擬二元系合金記録膜の適用と,界面層をなくすことで高いCNRを得,記録膜組成の一部をBiで置換することで良好な消去率を確保した.さらにAIN高熱伝導率層を用いてクロスイレースを低減し,ランドグルーブ記録においてトラックピッチ0.34μmでの使用を可能とした.キズ・汚れに強く生産も現行のDVDとほぼ同じプロセスが適用できる0.6mm厚基板面入射媒体を試作し,フオーマット効率83%のもとでユーザー容量20GBの媒体(AOD)の実現性を実証した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-02-21
著者
-
塚本 隆之
(株)東芝研究開発センター記憶材料デバイスラボラトリー
-
柚須 圭一郎
(株)東芝デジタルメディアネットワーク社コアテクノロジーセンター
-
芦田 純生
(株)東芝研究開発センター
-
森下 直樹
(株)東芝デジタルメディアネットワーク社コアテクノロジーセンター
-
芦田 純生
(株)東芝研究開発センター記憶材料デバイスラボラトリー
-
大間知 範威
(株)東芝 デジタルメディアネットワーク社 コアテクノロジーセンター
-
中村 直正
(株)東芝 デジタルメディアネットワーク社 コアテクノロジーセンター
-
市原 勝太郎
(株)東芝研究開発センター記憶材料デバイスラボラトリー
-
小川 昭人
(株)東芝デジタルメディアネツトワーク社コアテクノロジーセンター
-
市原 勝太郎
東芝研究開発センター 材料デバイス研究所
-
大間知 範威
(株)東芝 デジタルメディアネットワーク社
-
小川 昭人
(株)東芝デジタルメディアネットワーク社コアテクノロジーセンター
-
市原 勝太郎
(株)東芝研究開発センター記憶教材デバイスラボラトリー
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