122 DCプラズマCVD法によるTiN膜形成に及ぼす各種パラメータの影響

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概要

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• 1988-08-29

著者

• 松田 福久

  大阪大学溶接工学研究所

• 中田 一博

  大阪大学溶接工学研究所

• 友清 寿雅

  大阪大学大学院

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