C-3-67 CVD 法を用いた導波路用低損失ガラス薄膜の検討
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-08-20
著者
-
平尾 一之
京都大学大学院工学研究科材料化学専攻
-
平尾 一之
京都大学
-
田中 修平
(社)ニューガラスフォーラム
-
平尾 一之
京都大学[院]
-
井本 克之
(社)ニューガラスフォーラムナノガラス研究本部ナノガラスつくば研究室
-
井本 克之
ニューガラスフォーラム ナノガラス研究本部 ナノガラスつくば研究室
-
田中 修平
ニューガラスフォーラム ナノガラス研究本部 ナノガラスつくば研究室
-
田中 修平
社団法人ニューガラスフォーラム
-
田中 修平
ニューガラスフォーラム ナノガラス研究本部
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