SC-4-2 Low Temperature Heat Assisted Printing for Hard Disk Servo Pattern
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-08-20
著者
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瀬尾 雄三
三菱化学(株)科学技術研究センター 薄膜材料研究所
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池田 祥行
三菱化学(株)科学技術研究センター 薄膜材料研究所
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有田 陽二
三菱化学(株)科学技術研究センター 薄膜材料研究所
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川島 雅博
三菱化学(株)科学技術研究センター 薄膜材料研究所
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阿部 芳己
(株)シーエーシーズ 横浜分析センター
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