低損失セラミック焼結用進行波共振器アプリケータ
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概要
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マイクロ波による低損失セラミックの焼結は、内部加熱のため熱効率が高く、短時間加熱温度制御の容易な点、またセラミックの微細化、緻密性の向上という優れた点が注目され、研究が進められている。進行波共振器を用いた方法については、既に他に発表したが、今回は制御系を含めた試作アプリケータの概要及び試料挿入部の理論的考察について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
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