原子群不均質屈折率分布モデルにおけるコヒーレントX線の散乱解析
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概要
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ナノメートル電磁波であるX線はその短波長性を利用して、より微細なリソグラフィーや生体試料を観察するためのX線顕微鏡の実現に対して、大きな期待がかけられている。しかしながら短波長故にその透過性や人体への影響など扱いにくい面を有している。そこで我々はその開発に先駆け、原子内にX線が入射した場合の散乱特性を微視的領域から解析している。今回は、X線が入射した場合の原子内屈折率の変化およびそれによる散乱電界強度の数値解析を行った。
- 1997-08-13
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