X線機能素子における構成物質の屈折率特性

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概要

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近年、X線は短波長・高透過性の性質を持つことから産業界において、その関心が高まりつつあり、X線顕微鏡・X線リソグラフィー技術等を確立するためにより優れたX線源、X線機能素子の研究・開発が期待されている。X線機能素子については従来の光学系と同様に集束器やミラー等が必要とされるがこれらについては、まだ十分な特性をもったものが実用化されていない。また集束器については全反射や回折を利用したものについては多くの研究・開発がなされているが屈折率変化に注目したものは、まだ存在しない。そこで、本研究では物質の屈折率変化に注目し、より実用的なX線機能素子を実現するためにX線領域における屈折率の測定法を提案し、その手法を述べることにする。
1994-09-26

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