溝付きATカット水晶振動子のエネルギー閉込め特性
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概要
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エネルギー閉込め形ATカット水晶振動子において, 電極の外周部に近接して, 周辺より遮断周波数の高い溝部を設けた水晶振動子を提案し, 純弾性等方性の数式解析を行い, 3次元有限要素法による数値計算により解析結果を検証している. この溝部構造を設けることによって, 主電極の電極寸法とは独立に, 1)主振動とインハーモニックスプリアスとの周波数間隔を10%のオーダで広げることができることを示す. これはフィルタの減衰特性の改善に利用できる. 2)同じインハーモニックスプリアスの周波数間隔であれば, 水晶基板の端部変位を, 数10%のオーダで小さくできることを示す. これは端部支持点からの振動エネルギーの漏れを減らせるので小形化に利用できる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-11-25
著者
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