並列有限要素法による小型振動子の解析
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概要
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ATカット水晶板の厚みすべり振動を主振動モードとする小型振動子の解析を並列有限要素法により実施したので報告する。厚みすべり振動を有限要素法により解析するためには一般に極めて大規模な解析能力を必用とする。このような大規模な解析を実用的に実施するために、複数のプロセッサーを用い並列に計算を実行する並列解析システムを開発した。このシステムを用い小型振動子のエネルギー閉じこめ特性、周波数温度特性のシミュレーションを行った。また、この結果に基づいて、実際に小型振動子を試作を行い、解析結果との比較を行った。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-02-12
著者
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