逆メサ電極形状によるATカット水晶振動子のエネルギ閉込め特性

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概要

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ATカット水晶振動子の電極の一部を薄くして、逆メサ形状にすることにより、容量比が小さくなることを、等方性一次元のエネルギ閉込め現象を用いた解析手法で解析し、数値計算で示している。逆メサ形状のパラメータ(メサ厚み比、メサ長さ比、閉込め係数)を選ぶことにより、振動変位形状を電極部分で、COS形状から平坦分布とし、更に、双峰曲線形状とすることができるが、ここでは、最低次対称モードのインハーモニックスプリアスの発生開始する閉込め係数に設定した条件下で、容量比がどの様に変化するかを計算している。その結果、電極中央部で変位形状が平坦分布の時に、容量比が最小になるとしている。又、数値計算として、169の最小容量比の値を得ている。
社団法人電子情報通信学会の論文
1997-02-28

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