圧電リニアアクチュエータの開発
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概要
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圧電素子の急速変形と移動体の慣性と摩擦力を利用した新しいタイプのリニアアクチュエータを提案する. 小型で高精度駆動が可能であり, 位置決め装置や精密製品への利用が有効であると考える. 本論文では, 駆動原理の紹介, 原理に基づいて試作したユニットの性能測定結果, また理論解析結果について報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-10-25
著者
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