高精度マスク欠陥検査装置MC-100の開発
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概要
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64〜256MDRAMマスク検査を目指した、die-to-database型高精度マスク欠陥検査検査MC-100を開発した。高解像度光学系,高感度検査アルゴリズム,高速データ処理回路等を採用することで、従来よりも大幅に検査性能を向上することができ,0.15μm程度の検出感度持つことを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-10-19
著者
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