[招待論文]有機EL素子の材料探索と有機薄膜製膜法(有機ELとTFT(シリコン、化合物、有機)及びディスプレイ技術)

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概要

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近年、有機EL素子をはじめとした有機半導体による光・電子デバイスが注目をあつめている。しかし、有機材料、特に高分子半導体の中には理論的には有望視されながらアモルファス薄膜にする方法がないという理由で応用展開を阻まれている材料が数多く存在する。我々はこの点に着目し、スプレイデポジション法を開発した。この方法はπ共役高分子などの機能性有機材料の超希薄溶液を気相中に噴霧し、温度をコントロールしながらエアロゾルとすし、キャリアガスによって輸送される間に溶媒が揮発し濃縮された有機物超微粒子を基板上に堆積させ薄膜とするものである。この方式によってポリパラフェニレンビニレン誘導体の薄膜を0.0001%の超希薄溶液から製膜し、有機EL素子を作製することに成功した。また、従来作製困難であった異なる高分子の積層構造や塗り分けといった、機能性素子作製には不可欠の薄膜構造の調製も可能であることがわかった。
社団法人電子情報通信学会の論文
2003-04-08

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