リング共振器を用いた光集積回路微小圧力センサの可能性
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概要
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光集積回路圧力センサの高感度化について考察を行い, 考察結果をもとに, その実現性および問題点を明らかにした. センサは高感度化を図るために多重干渉光回路であるリング共振器とダイヤフラムから構成される. センサに圧力が加わるとダイヤフラムがひずみ, 屈折率がわずかに変化して, ダイヤフラム上を伝搬する導波光に位相変化が生じる. この変化によって引き起こされる共振周波数変化から印加圧力の大きさを検出する. 今回, ダイヤフラムの形状とセンサ感度の関係に重点を置き, 考察を行った. 解析結果より, ダイヤフラムの形状を正方形とし, ダイヤフラムの端に導波路を設け, 導波モードとしてTM-likeモードを利用するのが, 高感度なセンサを構成するうえで適していると言える. 更に, 最小検出可能圧力の評価を行った結果, 水中音響のような微小圧力に対しても感度を有する光集積回路圧力センサを実現できるものと期待される.
- 1996-01-25
著者
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