長深度低コヒーレンス干渉計のための可変光路拡大機構
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概要
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近年、光計測法による微小構造物の内部計測法の研究が盛んに進められている。その1つとして後方散乱光を利用した低コヒーレンス干渉計があるが、機械的な走査機構を必要とするため長深度・高速化は困難であった。本研究では、その問題点の解決としてコーナー反射鏡を利用した可変光路拡大機構を提案し、その基礎実験を行なった。この手法は従来の機構と比べ、長深度かつ高速な計測を可能とする。また、ロックインアンプを利用した微弱光計測にも対応できる。基礎実験では, 中心波長543.5μmのHe-Neレーザを用いた深度距離40mmでの干渉光計測が可能であることを確認した。
- 2000-11-08
著者
-
椎名 達雄
千葉大学大学院融合科学研究科
-
岡村 康行
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
伊藤 昌文
和歌山大学
-
岡村 康行
和歌山大学システム工学部:大阪大学大学院基礎工学研究科
-
椎名 達雄
和歌山大学大学院システムエ学研究科
-
森谷 洋平
和歌山大学 システム工学部 光メカトロニクス学科 フォトニクス研究グループ
-
森谷 洋平
和歌山大学システム工学部光メカトロニクス学科フォトニクス研究グループ
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