リング共振器を用いた高感度光集積回路圧センサ : 理論的考察

スポンサーリンク

概要

論文の詳細を見る
光集積回路構成を用いた小型で高感度な圧力センサを提案する。センサは高感度化を図るために多重干渉光回路であるリング共振器とダイアフラム(加圧部)から構成されている。センサに圧力が加わるとダイアフラムがたわみ、リング共振器の一部分にひずみが生じる。このひずみにより起こる共振周波数変化から印加された圧力を検出する。今回、ダイアフラムの形状とセンサ感度の関係に重点をおき、考察を行った。解析結果から、ダイアフラムを正方形とし、ダイアフラムの端に導波路を位置させることが、高感度なセンサを構成する上で適していると言える。また、このような構成とすることで、水中音響のような微小圧力に対しても感度をもつ光集積回路圧力センサを実現できるものと期待される。
1994-12-15

著者

関連論文

もっと見る

スポンサーリンク