分解熱検知型オゾンセンサの検知特性
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概要
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オゾン発生器の濃度モニター用に、オゾンの分解熱を計測することでオゾンを定量するオゾンセンサを開発した。検知素子と補償素子を組にして周囲温度の変化を補償する。検知素子をオゾンが熱分解する高温で動作させ、補償素子をほぼ室温で動作させることで、触媒劣化のない長期間安定に動作するセンサを実現した。原料ガスの種類によって検知特性は変化するが、測定範囲内で良好な直線性と安定性が得られた。検知特性の原料ガス依存性はガスの熱伝導度の違いで説明できた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-08-15
著者
-
朝倉 祝治
横浜国立大学
-
岡崎 慎司
横浜国立大学大学院工学研究院
-
清水 博
荏原実業株式会社
-
中川 英元
横浜国立大学大学院工学研究科
-
岩本 勇
荏原実業株式会社
-
朝倉 祝治
横浜国大
-
岡崎 慎司
横浜国立大学 大学院工学研究院
-
中川 英元
東京大学大学院医学系研究科
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