KrFエキシマレーザによる非線形有機光学結晶DASTの高品質、高速深さエッチング
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概要
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有機非線形光学結晶DASTは、無機非線形光学結晶に比べて極めて大きな非線形を有する.イオン塩結晶であるDASTは他のVan der Waals型有機結晶に比べ硬度が大きいが無機結晶には比較にならず、デバイス化のための加工には解決なければならない問題が多い.本研究では、低ダメージ、高速エッチングが可能な紫外レーザ光によるアブレーション加工について検討した結果を述べている.低圧酸素雰囲気中のエッチングにおり、光学的にも十分に利用できるエッチング面が得られ、メタルマスクを用いて任意の形状にDAST結晶を加工できることを示す.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-07-21
著者
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