分子動力学法によるスパッタ装置ターゲットからの放出角度分布のシミュレーション

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概要

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分子動力学法によるスパッタターゲットからの放出角度分布をシミュレーションするモデルを開発した。このモデルは、熱解析を用いて、ターゲット原子および入射イオンの初期速度を決定し、ターゲット原子の軌道を2体ポテンシャルを用い分子動力学法により計算する機能を含んでいる。求めた放出角度分布の印加電圧依存性は、実測結果と定性的に一致している。
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-09-13

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