山田 裕明 | NEC USLIデバイス開発研究所

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概要

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• NEC USLIデバイス開発研究所の論文著者

関連著者

• 山田 裕明

  NEC USLIデバイス開発研究所

• 太田 敏行

  NEC USLIデバイス開発研究所

• 新村 俊樹

  Nec Usliデバイス開発研究所

• 山田 義明

  Nec Ulsiデバイス開発研究所

• 金子 浩勝

  NEC ULSIデバイス開発研究所

著作論文

• スパッタ装置シミュレーションシステム"SimDepo"
• 表面拡散モデルを含むアルミスパッタ形状シミュレーションシステムの開発
• 分子動力学法によるスパッタ装置ターゲットからの放出角度分布のシミュレーション
• モンテカルロ法によるスパッタ装置シミュレーション

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