静電駆動マイクロ光スイッチの開発

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概要

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光スイッチは光ネットワークの発展に伴い、極めて重要な光デバイスとして注目されている。また、光ネットワークの大容量化に伴い、その小型化も望まれている。そこでマイクロマシン技術を用いて、小型で大規模な光スイッチを作製することを目的として、静電駆動マイクロ光スイッチを開発したので報告する。新しく考案した光スイッチはその動作に静電駆動を用い、マイクロミラーを上下させることで光のスイッチングを可能にしている。作製した光スイッチは大きさ1mm以下、駆動電圧5V以下、消費電力1μW以下、クロスーク・消光比50dB以上、損失5dBで超小型・低電圧駆動・低消費電力を実現している。本光スイッチは、今後の光ネットワークに必要とされる大規模光スイッチの可能性を示している。
社団法人電子情報通信学会の論文
1999-11-19

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