強誘電体膜を用いた静電容量変化歪みセンサ
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-09-17
著者
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吉田 哲男
株式会社トーキン
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吉田 哲男
(株)トーキン
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上野 亨
(株)トーキン
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上野 亨
株式会社トーキン技術開発本部第2技術開発部
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吉田 哲男
株式会社トーキン技術開発本部第2技術開発部
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上野 亨
トーキン
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