圧電振動ジャイロ用7電極円柱振動子の振動モード解析
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概要
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圧電セラミック円柱を用いた圧振動ジャイロ用振動子の駆動及び検出電極は、曲面スクリーン印刷によって形成されており、つなぎ目の寸法ずれによって生じる振動子の非対称性がジャイロ特性に悪影響を及ぼす。本報では、つなぎ目に寸法ずれが生じても振動子の対称性を損なうことの無い7電極型振動子について、駆動電極と検出電極との為す角度θを変えた場合のインピーダンス特性を測定した。その結果、共振周波数の高いモードが駆動電極の方向に固定され、二つの共振周波数の差は角度θが小さくなるほど大きくなることが明らかになった。
- 電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
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阿部 洋
(株)トーキン
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吉田 哲男
株式会社トーキン
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阿部 洋
株式会社トーキン
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習田 浩一
(株)トーキン商品開発研究所第2研究部
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習田 浩一
株式会社トーキン商品開発研究所
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吉田 哲男
トーキン
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