C-3-73 偏光干渉計を用いた光集積回路加速度センサの作成

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1999-03-08

著者

• 大河 正志

  新潟大工

• 関根 征士

  新潟大学工学部

• 丸山 昭紀

  新潟大・自然科学研究科

• 七澤 正洋

  新潟大・工

• 大河 正志

  新潟大・工

• 関根 征士

  新潟大・工

• 佐藤 孝

  新潟大・工

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