ステップ形電極によるGHz帯高調波動作SAWデバイスの検討
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概要
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SAWデバイスの高周波化技術の一つである高調波利用には、(a)バルク波放射のカットオフ周波数以上で動作することによるバルク波放射による損失の増加、(b)目的とする次数の高調波以外の基本波や高調波の抑圧という2つの問題点がある。今回我々は、上記(b)の問題点の解決を目的として、C.K.Campbellらにより提案されたステップ形電極IDT 1) について検討を加えた。まず、LiNbO_3 128°Y-X基板上に5次高調波を利用した2.3、3.4及び4.6GHzのトランスバーサル形遅延線を試作した結果、動作周波数が高くなるにつれて、ステップ形電極IDTの特微である目的とする次数の高調波以外の基本波の抑圧が悪化することを確認した。また、ステップ形電極IDTの応用例の一つとして、5次高調波で動作する2ポート共振器について調査した結果、ステップ形電極IDTが高調波動作共振器の実現に有効であることが確認できたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
-
佐藤 敏夫
桐蔭横浜大学大学院
-
茂木 良平
(株) トキメック Mrdセンター
-
佐藤 敏夫
(株) トキメック MRDセンター
-
大塚 滋樹
(株) トキメック MRDセンター
-
岡嶋 洋
(株) トキメック MRDセンター
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