LSI生産システムにおけるファイナルテスト工程の評価
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概要
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LSIの集積化技術の進歩に伴いテストの困難性が増し、テストコストが製造コストに占める割合が急激に増大している。先に我々は、LSI生産システムの流れ及び各工程をモデル化し、そのシミュレーション手法を提案した。これを、単品種の生産システムのコスト評価、14製品種のウェーハテスト工程のコストを最適にするLSIテスタ台数の評価、数百製品種のウェーハテスト工程の一月当りの製造ロット数に必要な装置台数の最適化ならびにそのコスト評価に適用した。今回、この手法をファイナルテスト工程に適用し、5種類の製品モデルを比較したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
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